CAMTEK 自动光学检验AOI设备 在碳化硅(SiC) 领域的应用
碳化硅碳化硅晶片是未来一代半导体材料,具有的电学性能和的热性能。 与硅片和砷化镓晶片相比,碳化硅晶片更适合高温和高功率设备应用程序。
Camtek开发的检验和计量解决方案,以及分析工具来解决这一新兴市场。
功能
•处理透明材料区域使用黑暗查克在晶片上
•背光查克的早期阶段的过程
•朋友处理透明的晶片
•eef——边缘控制能力
•自动缺陷分类(ADC)基于收益管理的深度学习
•弓测量
•预测收益率-晶圆缺陷位置精度<2um
技术
•sts -表面形貌传感器
•背光
产品
EagleT-AP
为的包装设计市场,EagleT-AP提供了2 d和3 d检验和计量在同一平台上,同时保持的性能和吞吐量水平。
EagleT-i
设计的速度和准确性,Camtek EagleT-i是一个快的和的2 d检查工具在市场上。
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