ruker探针式表面轮廓仪/台阶仪DektakXT表面轮廓/薄膜厚度/应力/粗糙度等测量系统

布鲁克公司的Dektak XTL™探针式轮廓仪系统可容纳多达350毫米x350毫米的样品，将的重复性应用到大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL集成气体隔震装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行，可应对复杂的生产环境。它的双摄像头设置和高水平自动化功能可限度提高生产量。布鲁克公司的具有图形识别功能的Vision64®软件以及自动化生产接口，可满足IC级用户需求，使数据采集成为一个自动化的过程，限度地降低操作员的变化带来的影响。

1. 的测试重复

   DektakXT™探针轮廓仪的设计了其的性能，测量重复性达到5 埃以下；

   单拱龙门式设计更坚固持久不易损坏，大大降低了周围环境中声音和震动噪声对测试信号的影响

   
   

   完善的仪器的智能化电子器件，提高了工作性能的稳定性，测量误差降低到小；

2、简便完善的操作系统

• 新颖的探针和部件自动对准装置，避免了探针损伤；

• 具有超微力（NLite+）测量功能，可以在测量时不破坏样品表面；

• 换针技术，提高操作的简便性；

• 完善的服务，提供各种标准探针和探针；

• 3、丰富的数据采集和分析系统

• 高速的直接驱动扫描样品台，缩短了扫描的间隔时间，数据采集处理速度提高了40%；

• 采用具有64位数据并行处理的软件Vision64，提高了大范围3D 形貌图的处理速度；

各种数据分析功能的操作简便、快捷，使用者可以快速高效地进行分析。