GDWT-480型全自动型高低温-北京精科智创科技发展有限公司

GDWT-480型全自动型高低温真空探针台

关键词：高低温探针台，半导体，光电，吉时利

GDWT-480型全自动型高低温真空探针台主要应用于I-V/C-V，PIV测试,传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电子样品测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，可以配合Keithley,Tektronix等国内外各种源表对材料进行测试，可以做材料的介电，铁电等测试,是目前高等院校和研究所及材料生产单位的重要辅助设备。

GDWT-480型自动型真空高低温探针台该探针台尺寸高达59x59MM，不锈钢台面设计，可以达到高温350℃。在真空方面采用真空腔体设计，具备进气口和抽真空接口，三轴移动探针臂保证X/Y/Z三个方向均可在真空环境下精密移位调节，用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测.

主要特点：

1、温度可以从-190℃-350℃

2、探针不需要打算开观察窗口，可以通过X/Y/Z三轴移动调节探针，

3、可以配真空，气氛等多种功能。

4、三轴调节范围：其中X方向0－28mm；y方向调节范围：0－18mm；z方向调节范围：0－18mm；

主要技术参数：

真空腔体
整内腔体尺寸	φ160x90mm（标准）
观察窗尺寸	Φ70mm
样品台尺寸	Φ60mm
观察窗热台间距	74mm
加热台温度	-190-350℃
加热台温控精度	±1℃
真空度	机械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa
电信号接头	SMA转BNC X 4
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量	4探针
探针材质	钨针
探针尖	10μm（其他多种可选）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米
制冷	液氮/液氦/制冷机
探针移动平台
X-Y-Z移动行程	30mm25mm 25mm
结构	真空波纹管结构，精密三轴控制探针
精度	≤0.01mm
漏电精度	10pA,100fA,10fA
接头类型	BNC/三轴/鳄鱼夹/香蕉头/接线端子
频率支持	DC-67GHZ
针尖直径	0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
电子显微镜
显微镜类别	物镜(可以选配）
物镜倍数	0.6-5.0倍(可以根据客户要求进行选配）
工作间距	85mm
相机	sony 高清
像素	200万/500万/1200万
图像接口	VGA
LED可调光源	有
显示屏	9寸
放大倍数	19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
可选附件
光学平台
屏蔽箱
光电测试配件
高压测试配件
激光系统
气敏测试系统