产品简介
MPS-10X型多功能型探针台MPS-10X型多功能型探针台产品简介：在实际得科研生产中
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| MPS-10X型多功能型探针台 MPS-10X型多功能型探针台 
产品简介 ： 在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统； 在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统； 主要技术指标： 结构紧凑，功能实用，价格实惠 可用于12寸以内样品测试 兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降 漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内） 精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计 应用于高等院校/研究所/公司实验室使用 1微米以上电极/PAD使用 模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
技术参数选型： | 规格/参数 | | 型号 | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | | 电力需求 | 220VC,50-60HZ | | 样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | | 行程 | XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧 | | 移动精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | | 背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | | 定制模块 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | | 探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | | 机械精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | | 漏电精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） | | 安装方式 | 直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附 | | 接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC | | 光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍（可升级到720倍） | | CCD像素 | 500W（可升级200W） | | 中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm | | 显示器 | 8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜） | | 可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | | 隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | | 射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源（测光电流） | | 显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | | | | | | | | | | |
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