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Aerotech纳米级直线定位平台
ANT95-L系列纳米平移台
1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率(1纳米),重复定位精度(50纳米),定位精度(250纳米)
纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ANT95-XY系列双轴纳米平移台
1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.大行程实现纳米定位
3.高分辨率(1纳米),重复定位精度(50纳米),定位精度(250纳米)
纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性
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