Aerotech ANT-95系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。
ant95系列定位平台优点：
•几何性能的气浮导轨
•1.2 m x 1.2 m 的行程
•光柵尺或激光回馈干涉仪
• 分辨率1nm
• 重复定位精度50nm
•亚微米定位精度
•XY 和 XYZ 集成系统
•无槽直接驱动电动机
同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高运动平台，比如 pro系列，ABL系列等等。
型号包括：
ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S
ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S
ANT95-50-10-NC-LT06AS-SINGLE-C50S
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