设计特点
六自由度定位，线性行程达到110 mm，角度行程达到40°
设计，保证定位精度规格
XYZ中小增量运动达到20 nm，θxθyθz中小增量运动为0.2μrad
灵活的配置和定制
可根据要求提供真空准备
强大的控件和软件，可视化的工作和工具坐标系
设计灵活性
HEX500-350HL在设计时考虑了灵活性和定制性。平台和基座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松进行修改。对于需要不同行程或性能参数的应用，可以考虑该标准来定制设计的运动学和/或结构布局。
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设计特点六自由度定位，线性行程达到110mm，角度行程达到40°设计，保证定位精度规格XYZ中小增量运动达到20nm，θxθyθz中小增量运动为0.2μrad灵活的配置和定制可根据要求提供真空准备强大的控件和软件，可视化的工作和工具坐标系设计灵活性HEX500-350HL在设计时考虑了灵活性和定制性
设计特点
六自由度定位，线性行程达到110 mm，角度行程达到40°
设计，保证定位精度规格
XYZ中小增量运动达到20 nm，θxθyθz中小增量运动为0.2μrad
灵活的配置和定制
可根据要求提供真空准备
强大的控件和软件，可视化的工作和工具坐标系
设计灵活性
HEX500-350HL在设计时考虑了灵活性和定制性。平台和基座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松进行修改。对于需要不同行程或性能参数的应用，可以考虑该标准来定制设计的运动学和/或结构布局。
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