Aerotech QNP系列压电纳米定位平台
关键词:纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台
QNP系列压电纳米定位平台以紧凑,高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程(100μm至600μm)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。
紧凑包装中的高质量
QNP压电平台受挠曲的指导,该挠曲使用有限元分析进行了优化,以确保高刚度和较长的设备寿命。终的设计提供了刚度和谐振频率,从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外,集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量,从而实现了静态和动态多轴性能。
高分辨率和定位精度
所有QNP压电级均采用的电容传感器设计,提供闭环反馈选项,可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出,从而实现精度和可重复性。
超控制
与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性(抖动)以及高定位带宽。
QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种




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