参数说明

共聚焦三维表面形貌仪

高频碳硫分析仪厂家生产的共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的配置。

可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。

具有光学形貌上的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的配置。

在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%- 99%)

 应用于透明层/薄膜。

兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

的稳定性。