SLZF270B小型蒸发设备
该设备是一台单腔室热蒸发设备,可溅射多种材料,真空腔室选用优质304不锈钢加工 圆柱型 尺寸275mm*300mm,上揭盖结构;顶部安装有4英寸样品架;底部装有2个电阻蒸发源;前面配有观察窗;真空获得系统安装于真空室下面 包括110分子泵,2L机械泵,压差阀,波纹管软连接,电控系统一套包括相序保护,真空控制系统;真空检测系统 真空计;
设备采用 进口检漏仪检漏 漏率超过5*10-10Pa/l/s;
极限真空可达10*10-5Pa;
1,尺寸 275mm*300mm
2,极限真空 10*10-5Pa
3,漏率 5*10-10Pa/l/s
4,抽速 30分钟 8*10-4Pa
5,蒸发源 2个
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