技术指标：
· 真空室：内径500×300 内径600×350 内径800×350
1000×120×300mm矩形
· 极限真空：6.6×10-5Pa
磁控靶：2英寸3只；DC与RF兼容
水冷，可根据需要选型
可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能。样品加热温度可达600°C.
其他选择增加功能：膜厚测试、反应溅射、离子束增强磁控溅射。
沈阳思联真空设备有限公司
免费会员
Product Display
技术指标：· 真空室：内径500×300 内径600×350 内径800×3501000×120×300mm矩形· 极限真空：6.6×10-5Pa磁控靶：2英寸3只；DC与RF兼容水冷，可根据需要选型可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能
· 真空室：内径500×300 内径600×350 内径800×350
1000×120×300mm矩形
· 极限真空：6.6×10-5Pa
磁控靶：2英寸3只；DC与RF兼容
水冷，可根据需要选型
可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能。样品加热温度可达600°C.
其他选择增加功能：膜厚测试、反应溅射、离子束增强磁控溅射。
请选择省份
请输入账号
请输入密码
请输验证码
全球资源网 设计制作，未经允许翻录必究 .Copyright(C) https://www.qqzyuan.com,All rights reserved.
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，全球资源网对此不承担任何保证责任。
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。