全计算机控制的多功能离子减薄系统,有高度的灵活性
主要特点:
减薄角度可调由0º至90º
一体化设计,重复性实验设备,可靠具操作性
全电脑控制,精确的参数调整,运行中无需人干涉
鞍式离子枪,高能量-快速蚀刻
制冷系统,铜传导,确保TEM,SEM在低温下操作
主机内置2级泵,确保高真空
减少装卸时间,高效率
操作简便直观,带自保护防止离子溢出与过热功能
法拉力环检查样品是否穿孔,自动终止功能
装载闸保持系统高真空度稳定不变
减薄过程中离子能量高低可调
内置视频监视器,直接观察样品减薄情况
可编程,触摸屏设计,直观操作
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