仪器简介：
光电轮廓仪的应用范围很广，它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构，如表面粗糙度；零件表面的刻线；刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说，如量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构；镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高，重复性好，具有非接触和三维测量等特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位，工矿企业计量室，精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。

技术参数：
表面微观不平深度测量范围 130?1nm
测量的重复性： sRa≤0.5nm
测量精度 8nm
物镜倍率 40X
数值孔径 0.65
仪器视场 目视 f0.25mm
摄象 0.13X0.13mm
仪器放大倍数 目视 500X
摄象（计算机屏幕观察） 2500X
接收器测量列阵 1000X1000
象素尺寸 5.2X5.2?m

主要特点：
仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯；
应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量；
用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本；
用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题；
增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能；