一.功能描述：

四点探针标准测试方法，采用步进系统自动控制探头与样品接触，减少人为因素对测试结果的影响；参照A.S.T.M 标准；测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式，同一位置的重复测试或多点的面电阻测量，报表输出数据统计分析；提供标准校准电阻件.

FT-3120系列全自动四探针测试仪

二.适用范围：

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；*电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.

 FT-3120系列全自动四探针测试仪

规格型号

FT-3120A

FT-3120B

FT-3120C

FT-3120D

1.电阻

10^-3～2×10^4Ω

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

10-4～1×107Ω

2.方块电阻 

10^-3～2×10^4Ω/□

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

10-4～1×107Ω/□

3.电阻率 

10^-4～2×10^5Ω-cm

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

10-5～2×108Ω-cm

4.测试电流 

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，

10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

5.电流精度 

±0.1%

±2%

6.电阻精度 

≤0.3%

≤10%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析：过程数据，大、小值，均值，方差，变异系数，样品编号，测试点数统计报表生成等

8.探针范围：

探针压力为100-550g；依据样品接触需要手动调节

9.探针

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制

10.可测晶片

尺寸选购

晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自动或手动单点模式

12.加压方式

测量重复性：重复性≤3% 

13.安全防护

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

实验室环境

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：100W 

16.选购项目

电脑和打印机

三.技术参数：