双电测电四探针方阻电阻率测试仪-宁波瑞品仪器有限公司

FT-340系列双电测电四探针方阻电阻率测试仪

FT-340 Series Double electric four-probe resistance ratio tester

一.应用说明Widely used：

覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等，提供中文或英文两种语言操作界面选择，

covering film;Conductive polymer film. high and low temperature electric film;Insulation. anti-radiation conductive film (shielding) cloth. decorative film. decorative paper.Metallized labels and alloy foil films.Smelting. sintering. sputtering. coating. Coating . resistance. capacitive touch screen.Electrode coating. other semiconductor materials. thin-film material resistance testing.

Silicon block. chip resistance rate and diffusion . epitaxial . ITO conductive foil. conductive rubber materials such as square resistance .semiconductor materials/wafer. solar cells. electronic components. conductive film (ITO conductive film glass. etc.). l film.Conductive paint film, evaporation aluminum membrane. PCB copper foil membrane. EMI coating materials such as sheet resistance and resistivity of conductive paint. conductive paste and conductive plastic. conductive rubber. conductive film. l film. anti-static materials. EMI shielding materials. conductive fiber. conductive ceramics. etc..

二．描述Deion：

采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.

规格型号/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
1.方块电阻sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.电阻率Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
3.测试电流Test current	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度Current	±0.1% accuracy	±0.2% accuracy	±0.2% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy
5.电阻精度Resistance	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy
6.显示读数display	屏液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.测试方式	test mode双电测量Double electrical measurement
8.电源Power	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30w>
9.误差errors	≤3%（标准样片结果）（standard samples）
10.选购功能choose to buy	选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform
11.测试探头test probe	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.

双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响

三.参数资料Technical Parameters

双电测电四探针方阻电阻率测试仪

双电组合测试方法：

利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

规格型号/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
1.方块电阻sheet resistance	10-5～2×106Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.电阻率Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
3.测试电流Test current	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度Current	±0.1% accuracy	±0.2% accuracy	±0.2% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy
5.电阻精度Resistance	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy
6.显示读数display	大屏液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.测试方式	test mode双电测量Double electrical measurement
8.电源Power	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30w>
9.误差errors	整机不确定性Machine uncertain≤3%（标准样片结果）/≤3%（standard samples）
10.选购功能choose to buy	选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform
11.测试探头test probe	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.