普通四探针方阻电阻率测试仪-宁波瑞品仪器有限公司

FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪

FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument

一.描述Deion：

采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，提供通讯接口，PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.

二.参照标准standard：

硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

三.适用范围Applicable scope：

适用于生产企业、高等校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出，选配：PC软件，保存和打印数据，生成报表

用于：覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品

四.型号及参数Models and technical parameters

规格型model	FT-331	FT-332	FT-333	FT-334	FT-335	FT-336
1.方块电阻范围Sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω/□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.电阻率范围Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×105Ω-cm
测试电流范围 Test current	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	10μA，100µA，1mA，10mA， 100mA	0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度 Current accura	±0.1%	±0.2%	±0.2%	±0.3%	±0.3%	±0.3%
5.电阻精度Resistance	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.显示读数display	液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.测试方式test mode	普通单电测量general single electrical measurement
8.工作电源power	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30w>
9.误差errors	≤4%（标准样片结果 Standard Sample results）
10.选购功能choose to buy	选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻 1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.测试探头Test probe	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes. Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.

普通四探针方阻电阻率测试仪

型号及技术参数Models and technical parameters

规格型model	FT-331	FT-332	FT-333	FT-334	FT-335	FT-336
1.方块电阻范围Sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω/□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.电阻率范围Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×105Ω-cm
测试电流范围 Test current	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	10μA，100µA，1mA，10mA， 100mA	0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度 Current accura	±0.1%	±0.2%	±0.2%	±0.3%	±0.3%	±0.3%
5.电阻精度Resistance	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.显示读数display	液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.测试方式test mode	普通单电测量general single electrical measurement
8.工作电源power	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30w>
9.误差errors	整机不确定性Machine uncertain errors≤4%（标准样片结果 Standard Sample results）
10.选购功能choose to buy	选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻 1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.测试探头Test probe	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes. Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.