plasma处理系统SAT-5D
技术特点：
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。
2.仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验
3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5.电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配，稳定可靠，具有自动保护功能。
8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。
9.采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的控制和监测。
10. 液晶屏+薄膜数字按键控制方式，操作直观简单稳定可靠。
plasma处理系统SAT-5D
技术规格参数
| 型号：SAT-5D |
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| 不锈钢/石英舱体 | Φ150 mm×L255mm 可以选配石英转鼓用来处理微颗粒以及粉末 |
| 工作气路 | 两路，可以选配MFC控制 |
| 射频频率 | 13.56MHz |
| 射频功率 | 0-150W，可调，扫频自动匹配 |
| 控制系统 | 液晶屏+薄膜数字按键，实时显示和检测舱内真空度值 |
| 时间范围 | 0—99分59秒连续可调 |
| 工作压力 | 样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节 |
| 工作气体 | 空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可 |
| 进气压力 | 空气：常压 连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa |
| 工作模式 | 手动模式和程序化自动模式 |
| 真空泵 | 抽速：1升到5升每秒 |
| 输入电源 | ~220V／50Hz |
| 整机尺寸（D*W*H） | 552X590X295mm |
| 重量（约） | 28Kg |
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