1、精密减压阀体积小，重量轻；
2、比传统的精密减压阀IR200流量大20%(大1100L/min)；
3、比传统的精密减压阀IR200排气量大5倍；
4、压力设定准确（调节螺栓的齿间距由传统的0.75mm改0.5mm）；
5、精密减压阀安装方便。可用托架独立安装或现在的模块式过滤组合AFM直接安装；
6、标准也带面板式安装；
7、先导排气口与主道排气口分开；
8、精密减压阀可在洁净房使用。
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1、精密减压阀体积小，重量轻；2、比传统的精密减压阀IR200流量大20%(大1100L/min)；3、比传统的精密减压阀IR200排气量大5倍；4、压力设定准确（调节螺栓的齿间距由传统的0.75mm改0.5mm）；5、精密减压阀安装方便
1、精密减压阀体积小，重量轻；
2、比传统的精密减压阀IR200流量大20%(大1100L/min)；
3、比传统的精密减压阀IR200排气量大5倍；
4、压力设定准确（调节螺栓的齿间距由传统的0.75mm改0.5mm）；
5、精密减压阀安装方便。可用托架独立安装或现在的模块式过滤组合AFM直接安装；
6、标准也带面板式安装；
7、先导排气口与主道排气口分开；
8、精密减压阀可在洁净房使用。
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