超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量测量中心距离为20 ~ 1,500 mm的各种型号。
分辨率达0.25 μm。
响应速度达110 μs。
支持并行输出。超稳定性尺寸/稳定性
传感器尺寸重视性能的传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。(参见注释)注:ZS-HLDS2T 不可用。的移动分辨率
透视分辨率提升通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率,使光学系统化,从而大幅度降低移动分辨率误差(因工件表面位置引起的误差)。材质间误差降低
2维CMOSCCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象,不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此,可以更方便地应用于检测对象物。行业的1,500mm长距离检测,可以测量以往无法测量的点。注:此功能可能在明亮环境中无效。可稳定测量倾斜工件和移动工件。专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜,采用的光学结构设计于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度,并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。请点击此处,查看大图。令人难以置信的测量精度0.25μm,同级产品的。密封调和器的高度控制HDD用电机旋转座的光盘播放检查 ZS-HL系列传感器控制器
项目 型号 ZS-HLDC11 ZS-HLDC41 平均采样数 1/2/4/8/16/32/64/256/512/1,024/2,048、4,096 安装传感器 每只传感器控制器1个 外部接口 链接方式 串口I/O:连速器,其他:预配线(标准电缆长度:2m) 串口I/O USB2.0 1个端口,全速(12Mbps以下),MINI-B RS-232C 1个端口,115,200bps以下 输出 判断输出 3个输出:HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低)
NPN开路集电极,DC30V,为50mA,残余电压:为1.2V 3个输出:HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低)
PNP开路集电极,为50mA,残余电压:为1.2V 线性输出 可从2种输出,电压或电流中选择(通过底座上切换开关进行选择)。
·电压输出:-10~10V,输出阻抗40Ω
·电流输出:4~20mA,负载电阻:300Ω 输入 激光OFF,归零定时,复位 ON:短路,端电压0V或1,5V或更低
OFF:开路(漏电流:为0.1mA) ON:电源电压短路或电源电压差1.5V以内
OFF:开路(漏电流:为0.1mA) 功能 显示:测量值、门限值、电压/电流、接收光量以及分辨率/端子块输出*2
传感:模式、增益、测量对象、头安装
测量点*1:平均值、峰值、谷值、厚度、断差以及计算
过滤:平滑、平均以及微分
输出:比例(聚焦/校正)、判断(迟滞和定时器)、非测量、及组(切换和清除)*
系统保存、初始化、测量信息显示、通信设定值、键锁定、语言及数据加载
任务:ZS-HLDC□1:单任务或多任务(最多4项)
ZS-LDC□1:单任务 状态指示灯 HIGH(橘黄色)、PASS(绿色)、LOW(橘黄色)、LDON(绿色)、ZERO(橘黄色)、ENABLE(绿色) 分段显示 主显示 8段红色LED,6位 副显示 8段绿色LED,6位 LCD 16位数×2行、字符颜色:绿色,每个字符分辨率:5×8像素矩阵 设定输入 设定键 方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1~4) 切换开关 门限开关(2种状态:高/低)、模式开关(3种状态:功能、示教及运行) 电源电压 DC21.6V~26.4V(包括纹波) 电流消耗 为0.5A(连接传感器头时) 环境温度 运行:0~50°C,储存:-15~+60°C(无结冰、无结露) 环境湿度 运行和储存时:35%~85%(无结露) 防护等级 IP20 (IEC60529) 材质 外壳:聚碳酸酯(PC) 电缆长度 2m 质量 约280g(不含包装材质和附件) 附件 铁氧体磁芯(1),说明书
*1.当选择多任务模式时可用于ZS-HLDC□1。
*2.端子块输出是ZS-HLDC□1的一种可能。ZS-HL系列传感器头型号 ZS-HLDS2T ZS-HLDS2VT ZS-HLDS5T 可应用控制器 ZS-HLDC系列 光学系统 正反射 漫反射 正反射 漫反射 正反射 测量中心距离 20 mm 5.2 mm 25 mm 50 mm 44 mm 测量范围 ±1 mm ±1 mm ±2 mm ±5 mm ±4 mm 光源 可视半导体激光(波长:650nm,1mW,JIS Class 2) 光束形状 线光束 光束直径 *1 1.0 mm × 20 μm 2.2 mm × 45 μm 1.0 mm × 30 μm 3.5 mm × 60 μm 直线性 *2 ±0.05%F.S. ±0.2%F.S. ±0.1%F.S. 分辨率 *3 0.25 μm
(平均采样数: 256) 0.6 μm
(平均采样数: 128) 0.25 μm
(平均采样数: 512) 1 μm
(平均采样数: 64) 温度特性 *4 0.01%F.S./°C 0.1%F.S./°C 0.01%F.S./°C 采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式) LED
指示灯 NEAR
指示器 接近测量中心距离以及测量范围内小于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 FAR
指示器 接近测量中心距离以及测量范围内大于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 运行环境照明 在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白炽灯) 环境温度 运行: 0 ~ 50°C, 储存: -15 ~ 60°C (无结冰,无结露) 环境湿度 运行和储存: 35% ~ 85% (无结露) 防护等级*5 IP64 IP67 电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67 材料 外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃 电缆长度 0.5 m, 2 m 2 m 0.5 m, 2 m 质量 约350 g 约600 g 附件 激光关联标签
(JIS・EN 各1枚、FDA 3枚),
铁氧体磁芯(4),
保险锁(2),
说明书 激光关联标签
(JIS・EN 各1枚),
铁氧体磁芯(2),
保险锁(2),
说明书 激光关联标签(JIS・EN 各1枚、FDA 3枚),
铁氧体磁芯(4),保险锁(2),说明书
型号 ZS-HLDS10 ZS-HLDS60 ZS-HLDS150 可应用控制器 ZS-HLDC 系列 光学系统 漫反射 正反射 漫反射 漫反射 测量中心距离 100 mm 94 mm 600 mm 1500 mm 测量范围 ±20 mm ±16 mm ±350 mm ±500 mm 光源 可视半导体激光(波长:650nm,1mW,JIS Class 2) 可视半导体激光(波长:658nm,1mW,JIS Class 2) 光束形状 线光束 光束直径 *1 3.5 mm × 60 μm 16 × 0.3 mm ( 500 mm) 40 × 1.5 mm ( 1,500 mm) 直线性 *2 ±0.1%F.S. ±0.07%F.S. (250 ~ 750 mm),
±0.1%F.S. (750 ~ 950 mm) ±0.2%F.S. 分辨率 *3 1 μm (平均采样数: 64) 8 μm (平均采样数: 250 mm时64),
40 μm (平均采样数: 600 mm时64) 500 μm(平均采样数: 64) 温度特性 *4 0.01%F.S./°C 采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式) LED
指示灯 NEAR
指示器 接近测量中心距离以及测量范围内小于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 FAR
指示器 接近测量中心距离以及测量范围内大于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 运行环境照明 在接收光表面照明:
3000 lx 以下 (白炽灯) 在接收光表面照明:
1000 lx 以下 (白炽灯) 在接收光表面照明:
500 lx 以下 (白炽灯) 环境温度 运行: 0 ~ 50°C, 储存: -15 ~ 60°C (无结冰,无结露) 环境湿度 运行和储存: 35% ~ 85% (无结露) 防护等级*5 电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67 IP66 *6 材料 外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃 电缆长度 0.5 m, 2 m 质量 约600 g 约800 g 附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2), 说明书
*1将实际测量中心距离(有效值)定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响,如主光束泄漏的光。*2.相对于理想直线的测量值误差。根据工件情况,直线性可能变化。可选以下选项。*3当平均采样数设定在图表范围内时,在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。
ZS-HLDS60同时显示250mm时的分辨率。可选以下选项。
型号 漫反射型 镜面反射型 ZS-HLDS2T SUS块 玻璃 ZS-HLDS2VT — 玻璃 ZS-HLDS5T 白色铝瓷 玻璃 ZS-HLDS10 白色铝瓷 ZS-HLDS60/HLDS150 白色铝瓷 —
型号 漫反射型 镜面反射型 ZS-HLDS2T SUS块 玻璃 ZS-HLDS2VT — 玻璃 ZS-HLDS5T 白色铝瓷 玻璃 ZS-HLDS10 白色铝瓷 ZS-HLDS60/HLDS150 白色铝瓷 —
*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。(典型示例)
*5.连接器部分的IP等级是IP40。
*6.有关IP67防护等级传感器头的信息请咨询欧姆龙代表处。ZS-HL系列传感头型号 ZS-LD10GT ZS-LD15GT 可应用控制器 ZS-HLDC/LDC 系统 光学系统 正反射 测量中心距离 10 mm 15 mm 测量范围 ±0.5 mm ±0.75 mm 光源 可视半导体激光(波长:650nm,1mW,JIS Class 2) 光束形状 线光束 光束直径 *1 约25 x 900 μm 直线性 *2 ±0.1%FS 分辨率 *3 0.25 μm 0.25 μm 温度特性 *4 0.04%FS/°C 采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式) LED
指示灯 NEAR
指示器 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 FAR
指示器 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 运行环境照明 在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白炽灯) 环境温度 运行: 0 ~ 50°C, 储存: -15 ~ 60°C (无结冰,无结露) 环境湿度 运行和储存: 35% ~ 85% (无结露) 防护等级*5 IP40 材料 外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃 电缆长度 0.5 m, 2 m 质量 约400g 附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2)
*1.将实际测量中心距离(有效值)定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响,如主光束泄漏的光。
*2.相对于理想直线的测量值误差。标准工件在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。根据工件情况,直线性可能变化。
*3.当平均采样数设定为128且测量模式设定为高分辨率模式时,在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。标准工作在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。
*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。(典型示例)
*5. 连接器部分的IP等级是IP40。ZS-MDC□1 多通道控制器基本规格与 ZS-LDC□1 传感器控制器的规格相同。然而以下几点不同:
1.不能连接传感器头
2.最多连接9个控制器时需要使用控制器链接单元。连接控制器时需要使用控制器链接单元
3.控制器之间的处理功能:数学功能控制器链接单元使用 ZS-XCN进行连接ZS-DSU□1数据存储单元项目 型号 ZS-DSU11 ZS-DSU41 安装传感器头数 不能连接 可连接控制器数 最多为10个控制器(ZS-MDC:1个控制器,ZS-HLDC/LDC:最多为9个控制器)*1 可连接的控制器 ZS-HLDC□□,ZS-LDC□□,ZS-MDC□□ 外部接口 链接方式 串口I/O:连速器,其他:预配线(标准电缆长度:2m) 串口I/O USB2.0 1个端口,全速(12Mbps),MINI-B RS-232C 1个端口,115,200bps以下 输出 3个输出:HIGH、PASS和LOW;
NPN开路集电极,DC30V,50mA,
残余电压:为1.2V 3个输出:HIGH、PASS和LOW;
NPN开路集电极,50mA,
残余电压:为1.2V 输入 ON:短路,端电压0V或1,5V或更低
OFF:开路(漏电流:为0.1mA) ON:电源电压短路或电源电压差1.5V以内
OFF:开路(漏电流:为0.1mA) 数据分辨率 32bit 功能 记录触发功能 可分别设定开始和停止触发:外部触发、数据触发(自触发)以及时间触发 其他功能 外部组、报警输出、保存数据格式定制及时钟 状态指示灯 OUT(输出,橘黄色),PWR(绿色)、ACCESS(达到,橘黄色),ERR(红色) 分段显示 8段绿色LED,6位 LCD 16位数×2行,字符颜色:绿色,每个字符分辨率:5×8像素矩阵 设定输入 设定键 方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1~4) 切换开关 门限开关(2种状态:高/低)、模式开关(3种状态:功能、示教及运行) 电源电压 DC21.6V~26.4V(包括波动) 电流消耗 为0.5A 环境温度 运行:0~50°C,存储:0~60°C(无结冰,无结露) 环境湿度 运行和存储时:35%~85%(无结露) IP等级 IP20(IEC60529) 材料 外壳:聚碳酸酯(PC) 质量 约280g(不含包装材质和附件) 附件 铁氧体磁芯(1),数据储存单元说明书:数据储存单元CSV文件转换/Smart Analyzer宏版本
*1.连接控制器时需要使用控制器链接单元。
超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量 测量中心距离为20 ~ 1,500 mm的各种型号。 分辨率达0.25 μm。 响应速度达110 μs。 支持并行输出。 超稳定性 尺寸/稳定性 传感器尺寸 重视性能的传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。(参见注释) 注:ZS-HLDS2T 不可用。 的移动分辨率 透视分辨率提升 通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率,使光学系统化,从而大幅度降低移动分辨率误差(因工件表面位置引起的误差)。 材质间误差降低 2维CMOS CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象,不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。 降低决定测量精度的不同物体之间的差异。 因此,可以更方便地应用于检测对象物。 行业的1,500mm长距离检测,可以测量以往无法测量的点。 注:此功能可能在明亮环境中无效。 可稳定测量倾斜工件和移动工件。 专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜,采用的光学结构设计于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度,并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。 在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。 请点击此处,查看大图。 令人难以置信的测量精度0.25μm,同级产品的。 密封调和器的高度控制 HDD用电机旋转座的光盘播放检查 ZS-HL系列传感器控制器
*1.当选择多任务模式时可用于ZS-HLDC□1。 *2.端子块输出是ZS-HLDC□1的一种可能。 ZS-HL系列传感器头
*1将实际测量中心距离(有效值)定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响,如主光束泄漏的光。 *2.相对于理想直线的测量值误差。根据工件情况,直线性可能变化。可选以下选项。 *3当平均采样数设定在图表范围内时,在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。 ZS-HLDS60同时显示250mm时的分辨率。可选以下选项。
*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。(典型示例) *5.连接器部分的IP等级是IP40。 *6.有关IP67防护等级传感器头的信息请咨询欧姆龙代表处。 ZS-HL系列传感头
*1.将实际测量中心距离(有效值)定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响,如主光束泄漏的光。 *2.相对于理想直线的测量值误差。标准工件在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。根据工件情况,直线性可能变化。 *3.当平均采样数设定为128且测量模式设定为高分辨率模式时,在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。标准工作在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。 *4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。(典型示例) *5. 连接器部分的IP等级是IP40。 ZS-MDC□1 多通道控制器 基本规格与 ZS-LDC□1 传感器控制器的规格相同。然而以下几点不同: 1.不能连接传感器头 2.最多连接9个控制器时需要使用控制器链接单元。连接控制器时需要使用控制器链接单元 3.控制器之间的处理功能:数学功能 控制器链接单元 使用 ZS-XCN进行连接 ZS-DSU□1数据存储单元
*1.连接控制器时需要使用控制器链接单元。 |
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