说明： 

Quick Vision ULTRA

361 系列 — 超高精CNC 视像测量系统

特点

1、采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到最小。

2、采用分辨率为0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下11 米处的高精密工厂制造。

3、通过使用虚拟零度热膨胀的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到。

4、 使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。

5、 稳定的几何精度(如：每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。

性能参数

型号ULTRA QV350-PRO

测量范围X 轴350mm

Y 轴350mm

Z 轴150mm

分辨率0.01μm

高灵敏度CCD 照相机黑白

精度*(20° C±0.2° C)

E1XY (0.3+L/1000)μm

E1Z (3+2L/1000)μm

[(1+2L/1000)μm: 10 - 60mm]

E2XY (0.5+2L/1000)μm

驱动速度 (X/Y/Z 轴) 100mm/sec

照明(PRL：可编程环行灯)

表面卤素灯

轮廓卤素灯

PRL 卤素灯

放大倍率变化系统可编程电动转盘

工作台玻璃尺寸438 x 509mm

工件负载40kg

尺寸 (W x D x H)** 890 x 1326 x 1650mm

重量** 1320kg

* 测量精度在以下条件下定义

可编程电动转盘：1X，物镜套装：5X

L：任意两点间距离(mm)

** 包括机器台架