测量范围可达 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
全金属冷阴极传感器(潘宁)带有陶瓷馈入装置
新创的电极几何形状提供的点火属性
等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板,降低了污染风险,即使是使用氩气进行溅射操作期间
阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
最小化真空计附近的磁场强度
LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
对数模拟输出信号
现场总线接口(Profibus DB、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
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