少子寿命是半导体材料和器件的重要参数。它直接反映了材料的质量和器件特性。能够准确的得到这个参数,对于半导体器件制造具有重要意义。
少子寿命指少子的平均生存时间,寿命标志少子浓度减少到原值的1/e所经历的时间。对太阳能电池来说,少子寿命越短,电池效率越低。
少子,即少数载流子,是半导体物理的概念。 它相对于多子而言。
半导体材料中有电子和空穴两种载流子。如果在半导体材料中某种载流子占少数,导电中起到次要作用,则称它为少子。如,在N型半导体中,空穴是少数载流子,电子是多数载流子;在P型半导体中,空穴是多数载流子,电子是少数载流。
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本公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研以及平板材料测试领域。借助公司*计量分析测试技术,为晶圆、碳化硅、硅片、氧化镓、封装测试等生产和品质监控,提供一整套完整测试和解决方案。
一. 晶圆电阻率测试仪,硅片电阻率测试仪,涡流法低电阻率分析仪,晶锭电阻率分析仪,迁移率(霍尔)测试仪,少子寿命测试仪。
参数 | 方阻 | 电阻率(厚度180um) | 方法 | |
探头量程 | 1-600Ω/¨ | 0.018-10.8 Ω∙cm | 涡流法 | |
探头性能 | 动态重复性 | 静态重复性 | 示值误差 | |
1-80Ω/¨(0.018 - 1.44Ω∙cm) < 0.2% | <0.01% | ±1% | ||
80-120Ω/¨(1.44 - 2.16Ω∙cm) < 0.3% | ||||
120-300Ω/¨(2.16 - 5.4Ω∙cm) < 0.5% | ||||
300-600Ω/¨(5.4 - 10.8Ω∙cm)< 1% | ||||
外形尺寸 | 上探头Ф20*145mm | 下探头Ф20*50mm | ||
信号采集 | 采样率:上限1500Sps | |||
采样个数:上限512点/单次 | ||||
采样缓存:8级数据记录缓存 | ||||
数据传输:RS232 RS485CANTCP/IP | ||||
传输协议:Modbus Rtu/ Modbus Tcp 用户自定义协议等 | ||||
供电电源 | 24V/1A |
二. 迁移率(霍尔)测试仪
技术指标 | 样品尺寸:2"-8"或者16mm×16mm的方形样品; 迁移率测量范围:100-20000(cm2/v.sec); 方块电阻测量范围:100-3000(ohm/sq); 载流子面密度测量范围:1E11-1E14(cm-2); 电磁铁磁场强度:1.0T 探头线圈直径:15mm |
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