美国ALICAT 20系列标准型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的20系列数字式质量流量计可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。

应用及案例

● 大学/研究所 ● 泄漏检测

● 环境监测 ● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑 ● 半 导 体

● 汽车制造 ● 光 伏

● 燃料电池 ● 计量校准

● 过程工艺气体测量

产品特色

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 可选高精度：可优于0.5%

● 可测范围广，0.01~99%

● 响应时间快，优于10ms

● 内置98种气体

● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气

技术指标

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类： 内置了98种气体，请参考背面

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量 程：从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

测量范围： 0.01～99%

显示流量：128 % 满量程

显 示 屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精 度：± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）见上段精度升级部分

± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

累计流量精度 ：流量精度之外增加± 0.5 %额外误差

重 复 性：± （0.2 %读数+0.02 %满量程）

质量流量温度漂移：0.02 %满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃

质量流量压力漂移：± （0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar

响应时间：优于10 ms

预热时间：标定工况： 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度：-10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度：± 0.75 ℃

工作湿度： 0 ～ 95%，无冷凝

数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率； 模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率 10 Hz

数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差

供电电压 7-30 VDC （如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC）

供电电流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

过程连接 详情参考压损表

安装方式 对位置无要求

防护等级 IP40

认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询