VEGA-钨灯丝扫描电镜,适用于科研以及企业-上海银雀电子科技发展有限公司

钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展，TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。的VEGA给用户带了新的技术，包括改进的电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，使VEGA系列产品保持着非常高的。

LaB6发射源

TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

· 的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式

· 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"

· 透镜与线圈的材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

· 镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构

· 3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率化，操作简化。

自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

· 用户界面有各种语言版本

· 多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快

· 图像文件管理与报告生成

· 内置的自动系统检查

· 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断

· 模块化软件体系结构

· 标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等

· 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等

VEGA3 GM

VEGA3 GM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 XM

VEGA3 XM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 LM

VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜（SEM）与X-射线能谱仪（EDS）的一体化系统，其具有图像质量高，自动化程度高，操作简单，能实时快速进行元素分析等特点。另外，可变真空模式下，用户可以在自然状态下观测不导电样品。

VEGA3 SB

VEGA3 SB是一款由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台，VEGA系列的操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面（使用核心汉化操作软件的扫描电镜），获取图片后可以用常见的标准格式存储图像，强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。

北京亚科晨旭科技有限公司

亚科电子成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前亚科电子已经与众多微电子、半导体设备行业的国际企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜）是其中几家重要的合作伙伴。用户已遍及所有国内集团、科研院所和研发制造企业等领域，在业内拥有良好的。我公司已成为、中国航天、中国航空、中国船舶、中国兵器集团、和高校等所属的众多科研单位及工厂的重要的合作伙伴。