| 1170mm | 1470mm | 1770mm | |
| 1200mm | 1500mm | 1800mm | |
| 900mm | 1200mm | ||
| X、Y、Z、θ，四轴直流驱动 | |||
| 50cm/s | |||
| 0.5G | |||
| ±0.1mm | |||
| ±0.1mm或者为移动距离±0.1%较大的一个 | |||
| ±0.1mm | |||
| 20mm | |||
| 25mm | |||
| 真空吸附固定 | |||
| 1MB | |||
| MGL-IIc3 （支持MGL-IIc）*2 | |||
| RS-232C | |||
| 可使用温度：5℃～40℃，湿度：35～75％Rh（无凝结） | |||
| 主机：AC220~240V、50/60HZ 送风机：根据型号 | |||
| 主机：300VA 送气机：根据型号 | |||
| 1760mm | 2060mm | 2360mm | |
| 1600mm | 1900mm | ||
| 1100mm | |||
| 140kg | 165kg | 180kg | |
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