根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。
特征：
u 台阶高度重复性优于5埃 lt;5 Å）
l 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
l 的“智能化电子器件"实现了低噪声的新
u 操作简便，高效易用
l 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
l 的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
l 自对准的探针设计使用户可以地更换探针
参数：
测试技术 | 探针式表面轮廓测量技术（接触模式） |
测量范围 | 二维表面轮廓测量 可选择三维测量以及数据分析 |
样品观测 | 可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm |
探针传感器 | 低惯性量传感器 （LIS 3） |
探针作用力 | LIS 3 传感器中 1~15mg |
低作用力模式 | N-Lite+ 低作用力 ~15mg |
探针选项 | 探针曲率半径 50nm~25um 高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客户定制针尖 |
样品 X/Y 载物台 | 手动 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平 自动 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平 |
样品R/Ɵ 载物台 | 手动，360度连续旋转 自动，360度连续旋转 |
计算机系统 | 64位多核并行处理器，Windows® 7 系统；可选配23英寸平板显示器 |
软件 | Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件； 选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件 |
隔振系统 | 多种隔振方案可供选择。 |
扫描长度范围 | 55mm 2英寸） |
单次扫描数据采集点 | 120，000 |
样品厚度 | 50mm (2英寸) |
晶片尺寸 | 200mm (8英寸) |
台阶高度重复性 | <5Å, 1sigma on μm step |
垂直方向扫描范围 | 1mm (9英寸.) |
垂直方向分辨率 | 分辨率可达1Å (在测量范围内 |
输入功率 | 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
温度范围 | 可以操作温度为20~ 25°C (68~77°F) |
湿度范围 | ≦80%，无凝结 |
系统尺寸和重量 | 455mm W x 550mm D x 370mm H ( W x D x H); 34kg (75lbs.); 隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H ( L x x H); (11lbs.) |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。