聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

世界个集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3，提供了离子束束流（束流为2µA），其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料，FERA3型仪器是一个不错的选择。

新一代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了新的技术优势，例如：改进的电子设备使图像采集得速度更快，带有静态和动态图像扭曲补偿技术的速扫描系统，内置的编程软件等。

FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求，其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为的分析工具。

现代电子光路

· 的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了许多工作与显示模式，体现了TESCAN可优化电子束光阑的中间镜设计

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

· 全自动的电子光路设置与合轴

· 成像速度快

· 使用3维电子束技术可获取实时立体图像

· 三维导航

离子光路

· 的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又

维修简单

现在保持电镜处在的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率化，操作简化。

自动操作

电镜除了可以自动化设置外，还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

· 用户界面友好的操作系统基于Windows™平台，多用户和多语言操作界面

· 同时的FIB/SEM成像，易于操作

· 实时图像支持多窗口模式，可自定义实时图像参数

· 图像处理，报告生成，在线与离线图像处理

· 项目管理软件

· 内置的自动诊断（自检）

· TCP/IP远程控制，网络操作与远程进入/诊断

· 免费升级软件

聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

FERA3 GM是一款由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

· 软件标配：

分析潜力

· 高亮度肖特基发射可获得高分辨率、高电流和低噪声的图像

· 选配的In-Beam二次电子探头可获取分辨率图像

· 三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN可优化电子束光阑的中间镜设计

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化

· 成像速度快

· 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像 （选配）

· In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

· 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

· 的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

· 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵， 因而可以很快达到电镜的工作真空，电子枪的真空由离子泵维持

· 自动的电子光路设置和合轴

· 网络操作和内置的远程控制/诊断软件

· 3维电子束技术提供实时立体图像

· 在低真空模式下样品室真空可达到500Pa 用于观测不导电样品

· 的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

· 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

· 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

· 高束流下的铣削速度和的性能

· FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

· 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能

聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

· 软件

· 技术规格

· 配件

· 图片

· 其他

分析潜力

· 高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪声的图像

· 选配的In-Beam二次电子探头可获取分辨率图像

· 三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN可优化电子束光阑的中间镜设计

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化

· 成像速度快

· 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像（选配）

· In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

· 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

· 的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

· 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。

· 自动的电子光路设置和合轴

· 网络操作和内置的远程控制/诊断软件

· 3维电子束技术提供实时立体图像

· 低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品

· 的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

· 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

· 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

· 高束流下的铣削速度和的性能

· FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

· 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功

北京亚科晨旭科技有限公司

亚科电子成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前亚科电子已经与众多微电子、半导体设备行业的国际企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜） 是其中几家重要的合作伙伴。用户已遍及所有国内集团、科研院所和研发制造企业等领域，在业内拥有良好的。我公司已成为、中国航天、中国航空、中国船舶、中国兵器集团、和高校等所属的众多科研单位及工厂的重要的合作伙伴。