HTMS-1000型高低温方阻测试系统

一、产品介绍：

HTMS-1000型高低温方阻测试系统是一款用于测量半导体薄膜和薄片的导电性能的测试系统，产品应用范围广,能够满足导电功能薄膜材料、半导体材料、导电玻璃材料、石墨烯等其它导电材料的测试需求；可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。

一、产品主要特点：

1.产品采用高精度源表设计，测试范围宽，测量精度高，能够实现电阻率、电导率的测量

2.控温范围广，可以从室温到-1000度可控

3.可实现常温、高温、恒温条件的测试，具备I-V、R-T、R-t等测试项目

4.最慢升温速率不低于10℃/min，且升温速率从0至升温速率线性可调；

5.具备加热故障监视诊断功能，需保证使用过程的安全；

6.支持实时测试结果显示，带USB接口，方便数据拷贝与传输；

二、产品主要技术参数：

1、控温范围；-150 ℃-1000 ℃，精度：-150 ℃-1000 ℃，精度±1 ℃

2、测量范围：电 阻：1×10-6～1×10-1 Ω ， 分辨率：1×10-7Ω

电阻率：1×10-7～1×10-2 Ω-mm， 分辨率：1×10-8

3、通道数：4通道

3、 材料尺寸：200mm*5mm*1mm,500mm*5mm*1mm,1000mm*5mm*1mm

4、 四线探针；0.5 mm-0.7mm

5、夹具：针对不同的样品可以设计不同的夹具

6、外形尺寸：主 机 1300mm（长）×800 mm（宽）×500mm（高）

7、净 重：≤60kg