应用范围：

Nernst 微电子行业便捷式微量氧分析仪是专门针对微电子行业设计制造的第7代微氧分析仪。广泛应用于快速退火炉，Rapid Thermal Processing，真空焊接炉,电子行业芯片制造,生物医药业,精密零部件光亮退火炉,高强合金刀具涂层处理设备等,以及各种小型设备上需控氧的工艺。由于采用长寿命，高精度氧化锆片结构原理，可有效测量微氧，所测微氧量可达10^-30%~氧含量，特别适合对产品工艺氧含量要求控制要求严格设备和工艺。分析仪实时提供炉内或烟道内烟气的含量O₂%(百分比)以及12种其他有用的参数。微氧气分析仪也适用于其他各种需要测量高精度氧气含量的领域。

微电子行业便捷式微量氧分析仪 技术特点：

◆ 氧探头传感器：内置式高精度片状氧化锆传感器，反应速度快。

◆ 多路输出控制：仪器有两路4～20mA电流输出及计算机通讯接口RS232或网络通讯接口RS485。

◆ 测 量 范 围： 测氧范围10的负30次方至氧量。

◆ 氧量显示单位：百分含量%，PPM方式，科学计数法E-X%自动转换。

◆ 报 警 设 置： 仪器有1路通用报警输出以及3路可编程序报警输出。

◆ 自 动 校 正： 仪器会自动监测各功能系统并自动校正以保证仪器测量时的精度。

◆ 智 能 系 统： 仪器可人机对话并按预定的设置完成各项设置的功能。

◆ 显示输出功能：仪器有很强的显示各种参数的功能并具有很强的各种参数的输出和控制功能。

◆ 安 全 功 能： 当炉子停止使用时，用户可控制关闭探头的加热器以确保使用时的安全。

◆ 无 需 安 装： 仪器为一体化便捷式分析仪。

规格和参数：