PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针台 基于压电陶瓷驱动技术，运动无需润滑，兼容扫描电镜真空环境，并可在多种温度范围内工作；步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。
技术指标（单个三轴探针台）
| 运动指标 | 尺寸参数 |
| 1. X轴移动行程：±10mm； | 1. 长/宽/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm |
| 2. Y轴移动行程：±10mm； | 2. 重量：225g |
| 3. Z轴移动行程：±10mm； | |
| 4. 运动速度：0-3mm/s； | |
| 5. 细调分辨率：0.5nm |
产品选型
纳米探针台
泽攸科技提供适配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多种扫描电子显微镜型号的纳米探针台，支持定制。
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