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◆性能特点：
家实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜。家采用三轴独立闭环压电平移式扫描台，实现大范围高精度扫描。
三轴独立式扫描，XYZ互不影响，非常适合三维材料及形貌检测。
电动控制样品移动台和升降台，可任意编程多点位置实现快速自动化检测。
龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位，实时观测与定位探针以及样品扫描区域。闭环压电扫描台无需非线性校正，纳米表征和测量精度优于99.5%。
◆测量范围及应用：
测量范围：二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用：纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case
序号
名称
技术参数
01
工作模式
接触模式、轻敲模式
02
选配模式
摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力
03
力谱曲线
F-Z力曲线、RMS-Z曲线
04
XY扫描方式
样品驱动式扫描，闭环压电平移式扫描台
05
Z扫描方式
探针驱动式扫描
06
XY扫描范围
闭环100×100um
07
Z扫描范围
10um
08
扫描分辨率
闭环XY向0.5nm，Z向0.05nm
09
XY样品台
步进电机驱动控制，移动精度1um
10
XY移动行程
100×100mm（可选200×200mm，300×300mm）
11
样品载物台
直径100mm（可选200mm，300mm）
12
样品重量
≤0.5Kg
13
Z升降台
步进电机驱动控制，最小步长10nm
14
Z升降行程
15mm（可选20mm，25mm）
15
光学定位
10X光学物镜
16
摄像头
500万像素数字CMOS
17
扫描速率
0.6Hz~30Hz
18
扫描角度
0~360°
19
运行环境
Windows XP/7/8/10操作系统
20
通信接口
USB2.0/3.0
21
仪器结构
龙门架式扫描头，大理石底座
22
减震方式
气浮式减震台+金属屏蔽隔音箱（可选主动式减震台）
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