LIBSOPA激光分析仪实现了一维线性扫描、一维深度分析和二维面扫描分析，用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夹杂物分布、表面和内部缺陷分析等指标。LIBSOPA为材料成分分析 、 缺陷分析 、涂镀层分析等 提供了新的技术手段及质量判据 。

　　仪器特点：

　　非接触、微区、深度分析；兼具原位统计分布分析功能；分析空间分辨率150-400μm

　　仪器参数：

　　一.激发光源

　　激光器：灯泵固体激光器

　　输出波长：1064 nm

　　脉冲频率：1~10Hz可调

　　二.双视场成像：

　　全景视场：100mm100mm

　　微区视场：8mm8mm

　　三.移动扫描系统：

　　移动分辨率：1μm

　　行程：80mm80mm

　　四.剥蚀光斑 ：

　　软件自动调节

　　尺寸：150μm ~400μm

　　五. 分光系统：

　　巴邢—龙格架法，光栅焦距750 mm

　　高发光全息光栅，刻线为2400条/mm

　　谱线范围：170~800nm

　　分辨率：优于0.01nm

　　惰性气体密闭样品仓

　　可检测短波元素（C,P,S,B)