设计特点

行程从 100 μm 到 300 μm

高刚度和动态性能带来出色的步进和稳定和扫描性能

高精度、无摩擦的弯曲导向

设备寿命长

具有直接计量电容传感器选项的定位分辨率和线性度

使用各种螺纹适配器或安装孔实现定制安装布置的安装灵活性

通光孔径达 29 毫米直径

Aerotech 的 QFOCUS™ QF-46 压电纳米定位平台系列使显微镜物镜和光学器件以纳米级性能高速定位。QF-46 提供 100 μm 和 250 μm（120 μm 和 300 μm 开环）的闭环行程，可提供长行程而不牺牲动态操作和纳米精度。

QF-46 的设计考虑到了下一代光学仪器和激光机。例如，由于其更高的固有刚度，QF-46 的性能优于具有更大更重的更高数值孔径 (NA) 物镜的竞争产品。QF-46 非常适合需要高精度和长行程吞吐量的任何苛刻的光学应用。

精密机械结构

QFOCUS QF-46 压电平台由精密弯曲引导，这些弯曲使用有限元分析进行优化，以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，从而实现了高工艺吞吐量和快速闭环响应。