微型双晶片变形反射镜是特别为激光光束像差控制设计的Bimorph Mirrors。制造这种小型双晶片变形反射镜有两种办法,一种是使用几个压电片，第二种方法是在相当小的方形压电陶瓷上放置高密度的控制电极网格，从而制造出小电极。
双晶片变形反射镜规格参数
?镜孔直径 gt;=12mm
?施加电压: 0V~+300V
?变形行程：高达10μm
?控制电极数量：18
?频率范围：5 KHz
?滞后： 12%
?损伤阈值：3J/cm2@λ=0.8um，20J/cm2@λ=1.06um
每个双晶片变形反射镜都配有控制单元的电子模块，通过USB端口与标准PC机相连。包括标准软件。
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