这款微探针系统micro probe是为材料光学特性和电特性测试设计的纳米级微纳探针仪器,可以结合显微镜,光谱仪等仪器在各种环境条件下现场测试材料电学和光学特性,满足真空,高温,气流,湿度,光照等各种特殊环境应用,内体积仅为100cc.
微探针系统规格参数
尺寸：W70 x L140 x H31.5mm
重量：650~950克
内体积：100cc
适合真空：10^-3mbar(带旋转泵时）， 10^-6mbar (带涡轮分子泵时）
温度范围：-40℃~200℃（Peltier stage), RT~1000℃（电阻加热台），80K~373K(低温台）
探针数量：4个,6个，8个 （可根据电极和应用进行多种探针布局）
微探针系统特点
的探针设计：探针模块仅仅30x20x20mm,操作非常灵活,在热扩散引起接触点偏移的情况下也能保持稳定接触
压电驱动：超高稳定性和分辨率的压电驱动,紧凑设计,满足微定位要求,分辨率50nm,力 1N(100g),XY行程11mm, Z轴行程4.5mm
探针针尖:所有探头在探头模块内部和/或外部都有弹簧结构。在气体流动和扫描实验中也保持稳定接触, 提供50um&100μm针尖,方便接触垫较小时选择。为了更的探测，建议使用可选的探测臂 针尖尺寸越大，样品夹紧力和耐久性越好。
微探针系统micro probe应用-拉曼光谱,热谐振频率测量,光电流测量,TEM样品测试等
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