臭氧发生器是氧气通过介质阻挡放电产生臭氧所必需的装置，由臭氧电源、臭氧发生室、冷却装置、仪器仪表等组成。臭氧电源是为臭氧物理合成提供高压和能源的电气装置，主要包含整流、逆变、升压单元及电源控制系统；臭氧发生室是由单组或多组臭氧发生单元组成的装置，是氧气通过高压电晕放电转化为臭氧的场所。 臭氧发生器是臭氧系统核心的装置，与气源装置、接触反应装置、尾气处理装置、检测控制仪表等共同组成一套完善的臭氧系统。
臭氧发生器的维护包括臭氧发生室的维护、臭氧电源柜的维护、配套仪器仪表的维护、冷却系统的维护等，相关工作主要有：
1、拆开臭氧发生室，检查发生室内臭氧发生单元的熔断器，挑出损坏的熔断器；检查该发生单元的放电体，若有损坏应更换；
2、完成时装机时同时更换密封条；检查高压进线端口的密封，如有破损同时更换密封件；检查出口的臭氧流量计，并拆机清洗；检查出气调节阀密封， 判断如有泄漏则更换密封配件；
3、检查、清洗、校准浓度检测仪；进气过滤器的检查，根据压 力损失及赃污情况更换滤芯；进出气管路、阀门密封检查。
4、开启臭氧电源柜门，清理灰尘、浮土；检查各接线端子的拧紧；检查风机运转；检查冷
却水管路渗漏，检查冷却风机通量、阻力等；检查所有线缆，尤其是高压电缆、动力电缆等，
看是否存在绝缘老化、破损等现象。
5、冷却水系统的维护包括板式换热器清洗；过滤器清洗；循环水泵检查；温度压力流量监
测仪表的检查等等。
臭氧发生器投加及尾气破坏系统的维护包括臭氧投加单元的维护、尾气破坏器的维护、臭氧接触池积扩散器的检查等，相关工作主要有：
1、臭氧投加单元：检查、清洗投加控制流量计；检查出气调节阀密封，判断如有泄漏则更
换密封配件；检查手动阀门及密封情况；检查、拆机清洗前投加的射流器；检查投加增压水
泵与运转，清理积累灰尘，检查机械密封、运行噪声情况；检查管路密封情况。
2、尾气破坏器：检查加热器、风机运转情况；检查温度器、控制系统；检查催化剂运行情
况，如有破坏不应更换催化剂；检查、校正排气浓度监测仪；验证安全报警。
3、臭氧接触池：调整不同进气流量，从压差判断是否存在扩散器损坏；检查、清洗除雾器；
检查、清洗双向透气阀。
电气、仪表、自控系统维护包括配电柜、总控 PLC 柜、投加控制柜，以及所有连结线缆，尤其是动力电缆等，看是否存在绝缘老化、破损等现象；检查清理内部灰尘、浮土；检查各接线端子的拧紧；检查冷却风机运转、检查通风量、阻力等；检查、校正氧气、臭氧泄漏报警仪；验证安全报警等。
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