产品概述：
● 紧凑型3D量测设备。
● 安装移动迅速便捷。
● 适用于所有基板类型。
● 多样化的应用选择。
● 工业标准数据端口。
NanoFocus桌面轮廓仪
| 分辨率 | X & Y轴: 0.5-2.5um; |
|---|---|
| Z轴：0.016 um; | |
| 取样率 | 20000 Hz |
| 工作距离 | 8 mm |
| 扫描宽度 | 630 um |
| 高度范围 | 300 um – 400 um |
| 机台尺寸 | 300mm x 200mm （可定制） |
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日本KOSAKA小坂 桌面轮廓仪NanoFocus
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