特点
• 阶差减小的高度从到NO.5。
• 相邻阶差校准的分辨率为0.01μm，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm。
• 可选用钢制型或陶瓷型。
• 阶差规用于校准相邻高度的精度。
性能参数
公制型
| 货号 | 备注 |
| 516-198 | 钢制型 (阶差 : 10µm/5µm/2µm/1µm) |
| 516-199 | 钢制型 (阶差 : 300µm/100µm/50µm/20µm) |
| 516-498 | 陶瓷型 (阶差 : 10µm/5µm/2µm/1µm) |
| 516-499 | 陶瓷型 (阶差 : 300µm/100µm/50µm/20µm) |
特点
• 阶差减小的高度从到NO.5。
• 相邻阶差校准的分辨率为0.01μm，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm。
• 可选用钢制型或陶瓷型。
• 阶差规用于校准相邻高度的精度。
特点
• 阶差减小的高度从到NO.5。
• 相邻阶差校准的分辨率为0.01μm，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm。
• 可选用钢制型或陶瓷型。
• 阶差规用于校准相邻高度的精度。
特点
• 阶差减小的高度从 到NO.5。
• 相邻阶差校准的分辨率为0.01μm，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm。
• 可选用钢制型或陶瓷型。
• 阶差规用于校准相邻高度的精度。
日本三丰量块阶差规516-198/516-199
日本三丰量块阶差规516-198/516-199
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