电感耦合等离子体发射光谱仪用于测定各种物质中的微量、痕量金属元素或非金属元素的含量，自动化程度高、操作简便、稳定可靠。
目前仪器广泛应用于稀土、地质、冶金、化工、环保、临床医药、石油制品、半导体、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。
电感耦合等离子体发射光谱仪又称为ICP光谱仪即以电感耦合高频等离子体为激发光源，利用每种元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，而进行元素的定性与定量分析仪器。也被称为ICP原子发射光谱仪。
它是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器。它密封在一个温度稳定的恒温机箱里，设计小巧，操作简易，设备的搬运和操作只要一个人就能完成。它具有样品用量少，应用范围广且快速，灵敏和选择性好等特点。
电感耦合等离子体发射光谱仪包括以下几个主要部分：
1、入射狭缝: 在入射光的照射下形成光谱仪成像系统的物点。
2、准直元件: 使狭缝发出的光线变为平行光。该准直元件可以是一独立的透镜、反射镜、或直接集成在色散元件上，如凹面光栅光谱仪中的凹面光栅。
3、色散元件: 通常采用光栅，使光信号在空间上按波长分散成为多条光束。
4、聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狭缝的像，其中每一像点对应于一特定波长。
5、探测器阵列：放置于焦平面，用于测量各波长像点的光强度。该探测器阵列可以是ccd阵列或其它种类的光探测器阵列。
该设备的分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。
步：激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光;
第二步：利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱;
第三步：利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。
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