广告招募

当前位置:全球资源网 > 技术中心 > 产品文库

干式真空泵|北崎国际贸易

2026年09月14日 18:56:39      来源:兴旺宝精选 >> 进入该公司展台      阅读量:3

分享:

日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X100N
产品介绍
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵,搭载荏原有的节能技术,采用面向自动化工厂制造的优化模块设计,并进一步实现了小型化和节能化。
通过大范围的温度控制,扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺,能够优化备用设备的库存,减少用于维护和培训的人力时间,并且能够灵活应对未来的工艺扩展。此外,在所有工艺中实施最佳的温度控制,从而实现工艺耐受性的提高,并且通过延长部件的更换周期,帮助减少TCoO。
应对的应用例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子植入、外延生长等。

EV-X型
小型节能,仅需一台设备即可覆盖广泛的工艺流程
支持中等负荷工艺
支持高温化控制
节能
采用标配耐腐蚀性材料
增强耐腐蚀性的选配件
不同频率(50Hz/60Hz)下保持稳定性能
无油
可支持CE标志/SEMI-S2/NRTL
省空间化
产品规格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大处理风量(L/min)10,00020,00030,000
到达压力(Pa)0.50.50.5
电源规格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到达底压时消耗电力(kW)*0.911.5
版权与免责声明:
1.凡本网注明"来源:全球资源网"的所有作品,版权均属于全球资源网,转载请必须注明全球资源网。违反者本网将追究相关法律责任。
2.企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
3.本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。 4.如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系。