日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X100N产品介绍
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵,搭载荏原有的节能技术,采用面向自动化工厂制造的优化模块设计,并进一步实现了小型化和节能化。
通过大范围的温度控制,扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺,能够优化备用设备的库存,减少用于维护和培训的人力时间,并且能够灵活应对未来的工艺扩展。此外,在所有工艺中实施最佳的温度控制,从而实现工艺耐受性的提高,并且通过延长部件的更换周期,帮助减少TCoO。
应对的应用例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子植入、外延生长等。
EV-X型
小型节能,仅需一台设备即可覆盖广泛的工艺流程
支持中等负荷工艺
支持高温化控制
节能
采用标配耐腐蚀性材料
增强耐腐蚀性的选配件
不同频率(50Hz/60Hz)下保持稳定性能
无油
可支持CE标志/SEMI-S2/NRTL
省空间化
产品规格
型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大处理风量(L/min)10,00020,00030,000
到达压力(Pa)0.50.50.5
电源规格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到达底压时消耗电力(kW)*0.911.5