CD-SEM
电子源是设备成像与尺寸测量的核心部件，安装精度直接影响束斑质量与测量精度，需遵循标准化流程规范操作，全程在无尘真空预处理环境作业，杜绝污染与对位偏差。
安装前期需做好准备工作，提前关闭设备高压电源，释放机身残余电压，避免高压触电与部件击穿。使用无尘脱脂棉搭配无水乙醇擦拭电子源枪体、电极、垫片等配件，清除粉尘、油污与杂质，自然风干后妥善放置，全程禁止徒手触碰核心部件，防止汗液污染。
核心安装阶段，先依次规整放置绝缘垫片、灯丝基座，平稳装入电子源主体组件，保证部件贴合紧密无偏移。缓慢拧紧固定螺丝，采用对角均匀锁紧方式，力度适中，避免用力过猛造成灯丝变形、电极损伤。随后精准对位枪体中心轴，微调引出电极与栅极位置，确保电子发射中心与光路同轴，杜绝偏心问题。
安装完成后进行线路对接与密封检查，规范连接高压线缆与信号接口，做好绝缘防护，检查枪室密封结构，保障真空密封性。最后启动设备抽真空，待真空度达标后，逐级开启低压、高压电源，完成电子束对中、发射电流校准，检测束斑稳定性，确认无异常、成像清晰、参数达标，即为安装完成。
