化工废气光微波处理工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间(区域)，由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果。
技术优势：
1、运用微波技术，把微波加热与催化剂加快化学历程反应的优点结合起来，处理效率是普通光催化氧化、光触媒的3-5倍。
2、免维护：设备无需添加任何易耗材料，整体使用寿命在5年以上，无需人工看管维护。
3、稳定性：整机所有配件均属于持续性材料，适用于24小时不间断运行。
4、安全性：主体设备无电路，真正实现远程智能操作，无安全隐患。
化工废气光微波处理的适用条件：
（1）空气干燥。活性炭具有很强的吸湿性，若空气潮湿，活性炭很快会失去作用；
（2）颗粒物浓度低。活性炭对颗粒物或油状物具有阻截作用，当阻截物增加到一定量后，整个系统的风压会特别大，对动力设备的使用寿命有很大影响；
（3）污染物浓度较低。污染物浓度高的话，活性炭很快吸附饱和，降低或失去吸附作用。经常更换活性炭会产生较大的运行费用，活性炭再生又会消耗大量的能源，也是运行费用的组成部分。
