2026年02月23日 08:12:27 来源：东莞爱加真空科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量：22
动态真空系统允许漏率
所谓动态真空系统，指工作时泵仍然对它 进行抽气的系统，如真空冶炼炉，真空镀膜机，粒子加速器等。
例如：一台镀膜机，对蒸发室的有效抽速S为100L/S ，要求达到的极限压力 P0 为1*10-5 帕，那么该镀膜机的允许漏率[Ql]=(1/10)SP0=1*10-4 帕升/秒
静态真空系统的允许漏率
所谓静态真空系统，即工作时已与泵隔离的真空系统，一般又称密闭容器或密闭器件，如显 像管，电子管等。
例如：某只电子管，其内腔容积为 0.1L ，封离时的压力 P0 为 1*10-7帕，电子管正常工作的压力P1为1*10-3 帕，要求器件保存和工作的时间T为 50000H 。
那么，该电子管允许 漏率应为 [Ql]=(1/10)V ( P1-P0 ) /T=3.6*10-14 帕升/秒
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