一、电子工业用超纯水概述

　　随着电子芯片半导体行业的发展，对水质的要求也随之增高，所以要生产出好的集成电路有几个关键因素即：高纯气体、高纯化学药品，高纯水，高纯原材料。在我国电子级水质的技术标准为五级，即：0.5MΩ.cm，2MΩ.cm，10MΩ.cm，15MΩ.cm，18MΩ.cm，我公司电子超纯水处理设备符合美国、日本相关行业标准并且符合国内外大规模集成电路的水质标准。

　　二、制备电子工业用超纯水的工艺流程

　　电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：

　　1、种则是传统的制备超纯水的方法，即：离子交换树脂法。工艺流程是：原水经过沙炭过滤器再由沙炭过滤器进入精密过滤器，再由此进入原水箱经过阳床、阴床、混床之后，再利用纯水泵加压进入后置精密过滤器完成用水点。

　　2、第二种是反渗透设备加上离子交换树脂法。工艺流程是：原水经过沙炭过滤器再由沙炭过滤器进入精密过滤器，再由此进入原水箱经过反渗透设备之后，运用混床工艺到达纯水箱再利用纯水泵加压进入后置精密过滤器完成用水点。

　　3、第三种是在反渗透的基础上加上电去离子(EDI)设备，这是我公司新工艺，也是环保，经济，具发展力的超纯水制备工艺。工艺流程是：原水经过沙炭过滤器再由沙炭过滤器进入精密过滤器，再由此进入原水箱经过反渗透设备之后运用电去离子(EDI)工艺之后到达纯水箱再利用纯水泵加压进入后置精密过滤器完成用水点。

　　三、三种制备电子工业用超纯水的工艺比较

　　超纯水制取的任何一种工艺，都有自己的优点和不足的地方，以上三种工艺，从传统的工艺到的工艺流程，都具有一定的可行性和不足性，我公司人员对其优缺点进行整理，内容如下：

　　1、种工艺：优点就是初级的投资比较少，也不用占太大地方。缺点就是要树脂再生的次数较多，要经常性的。酸碱的耗费量大并对环境有一定影响。

　　2、第二种工艺：优点是耗费的酸碱要比传统工艺少很多，对于环境还是会有影响。

　　3、第三种工艺：优点是这种工艺法是目前为止经济环保的新型工艺，也不酸碱，对环境也不会有影响。缺点是价格相对于以上两种工艺要贵很多。