Biolin光学接触角测量仪是一款晶圆全自动接触角测量仪器。该仪器包括ThetaFlow光学接触角测量仪主机，可配置四个具有软件控制、可水平移动、可抛弃滴液头的自动滴液器，以及带自动旋转的全自动XYZ样品台。 晶圆上的接触角测量对于评估这些材料的润湿性和表面特性至关重要，这些材料广泛应用于电子制造。通过评估液滴与晶片表面接触的角度，研究人员可以深入了解硅的表面能和粘附性能。这些信息对于优化半导体制造中的涂层、光刻和键合等工艺至关重要。了解接触角有助于确保晶片与生产过程中使用的各种材料之间的预期相互作用，最终提高电子设备的性能和可靠性。
晶圆接触角测量仪应用
•研究表面清洁度
接触角测量可以评估晶圆的清洁度，从而来评估表面污染物和残留物的去除情况。
•确定表面自由能
通过测量接触角，可以推断出表面自由能，这对于理解其他材料如何与晶圆相互作用至关重要。
•了解粘附性能
接触角有助于确定应用于晶圆的涂层和薄膜的粘附性能。
•研究亲水性/疏水性
测量接触角可以确定晶圆表面是亲水还是疏水，从而影响光刻和蚀刻等工艺。
•用于质量控制
定期的接触角测量可以作为质量控制过程的一部分，以确保晶圆加工和处理的一致性。
支持晶圆接触角测量的软件功能
•批量模式，用于对一排多个晶圆进行快速测量。
•标准座滴法，可进行更深入的分析。
