Agilent安捷伦VSPR022氦检漏仪维修厂家分析了检漏仪5种常见故障的处理方法，总结了检漏仪在使用过程中应重点注意的事项。

氦质谱检漏仪故障与处理

1、检漏仪内部泄漏

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。氦质谱检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方。

①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。

②各电磁阀与阀门组件问的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5年以上时，有可能会存在密封失效的问题。

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