现在制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术科学地结合起来，不仅能生产超纯水，而且变得非常容易。目前市售的超纯水机就是一个成功的例子。自来水进去超纯水出来，非常方便。而且使用寿命也越来越长。

　　超纯水机制备超纯水的原理和步骤大体如下：

　　1、原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

　　2、机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。

　　3、活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等;吸附细菌和某些过滤金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。

　　4、反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。出于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。

　　5、紫外线消解：借助于短波(180nm-254nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。

　　6、0.2μm滤膜过滤，以除去水中的颗粒物道每毫升1个(小于0.2μm的口经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超纯水了。玻璃器皿清洗机;应能满足各种仪器分析，高纯分析，痕量分析等的要求，接近或达到电子级水的要求。