工作原理 热式原理：基于热传导或热质量交换原理。常见的是将加热元件和温度传感器置于气流中，当气体流过时带走热量，通过测量加热元件的功率变化或温度差来确定气体质量流量。气体质量流量控制器响应速度快，能测量低至非常小的气体流量，但受气体成分变化影响较大。
科氏力原理：利用科里奥利效应，当气体通过振动管时，科里奥利力会使振动管产生扭曲，测量其扭曲程度来确定气体质量流量。该原理直接测量质量流量，不受压力、温度、密度等参数影响，精度高，但结构复杂、成本高。
主要特点
高精度控制：能精确控制气体质量流量，可满足对气体流量要求严格的实验和生产过程。
快速响应：响应时间短，能在短时间内对气体流量的变化做出调整，保证系统的稳定性和控制效果。
稳定性好：采用传感器和控制系统，可在长时间运行中保持稳定的性能，减少测量误差和控制偏差。
可重复性高：在相同条件下多次测量和控制气体流量时，能得到相近的结果，确保实验和生产过程的可重复性。
应用领域
半导体制造：在半导体芯片制造过程中，精确控制各种工艺气体的流量至关重要，MFC可确保气体流量精确稳定，提高芯片质量和生产效率。
实验室研究：用于化学实验、生物实验等，为实验提供精确的气体流量条件，保证实验结果的准确性和可重复性。
医疗设备：在呼吸机、麻醉机等医疗设备中，MFC可精确控制氧气的输送量，保障患者的安全和治疗效果。
工业过程控制：在化工、冶金、食品等行业的气体输送和反应过程中，MFC可实现对气体流量的精确控制，提高生产效率和产品质量。
