在许多工业领域，真空系统的应用日益广泛，如真空炉、真空镀膜机、电子束加速器等。这些系统的正常运行对于保证产品质量、提高生产效率至关重要。然而，由于操作不当、材料老化、制造缺陷等原因，真空系统在使用过程中难免会出现泄漏现象。为了及时发现并修复这些泄漏点，离线真空衰减检漏技术成为了一种重要手段。
离线真空衰减检漏是一种在真空系统停机状态下进行的检漏方法。与在线检漏相比，它具有检测精度高、不受系统工作状态影响、适用于大型复杂系统等优点。在检漏过程中，首先将真空系统与外界隔绝，形成一个真空环境。然后，向系统内充入一定量的示踪气体，这些气体在常温常压下为气态，但在低温或高压条件下会液化或固化。通过测量系统内的压力变化，可以判断系统是否存在泄漏，以及泄漏的大致位置和程度。
离线真空衰减检漏的关键在于示踪气体的选择和测量方法的确定。常用的示踪气体有氦气、氮气、氢气等。其中，氦气因其分子小、渗透性强、易于检测等特点而被广泛应用。在测量方法上，可以采用质谱仪、冷阱检漏仪、超声检漏仪等。这些仪器各具特点，适用于不同的检漏场景和需求。
离线真空衰减检漏在实际应用中发挥着重要作用。例如，在真空炉的维修过程中，检漏师会使用离线真空衰减检漏技术来定位炉体上的微小裂纹，确保炉体的密封性达到设计要求。在真空镀膜机的维护中，检漏师会利用该技术来检查真空室和管道的连接处是否存在泄漏，以保证镀膜过程的真空度。此外，在航天、核工业等领域，离线真空衰减检漏也是保障设备安全运行的重要手段。
