台式电镜能谱一体机主要用于高分辨率微区形貌分析，它是一种大型精密仪器，具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。扫描电镜能够观察和分析材料的表面形貌、组织、成分，以及进行材料断口分析和失效分析。它还可以对材料表面微区成分进行定性和定量分析，广泛应用于材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域。
台式电镜能谱一体机是一种利用聚焦的高能电子束扫描样品表面，通过电子与样品中的原子相互作用产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号，再经过信息收集、放大、再成像的过程以达到对物质微观形貌表征的目的.
台式电镜能谱一体机的用途包括：
观察无机或有机固体材料断口、表面形貌、变形层等，进行机理研究。
金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定。
观察陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料表面的形貌。
微型加工的表征和分析，如集成电路图形及断面尺寸、PN结位置、结区缺陷等。
金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定。
研究晶体的生长过程、相变、缺陷，以及无机或有机固体材料的粒度观察和分析。
